氮化硅陶瓷论文

氮化硅陶瓷某典型零件化学机械抛光工艺实验研究
论文摘要氮化硅陶瓷材料以其强度高、耐高温、耐化学腐蚀等优良性能在工业和国防领域得到广泛应用。目前，氮化硅材料的超精密加工主要通过超硬精细磨料的研磨和精密磨削来实现。这两种精密加...
氮化硅表面沉积DLC膜的均匀性与摩擦学特性研究
论文摘要在航空航天工业、空间技术迅速发展的今天,用于改造工作表面的新型固体润滑材料应运而生。类金刚石碳膜是一种高硬度、低摩擦系数、高耐磨性及高化学稳定性的新型薄膜材料,作为固体...