氮化铝薄膜论文

高导热绝缘氮化铝薄膜的制备、性能及在LED上的应用研究
论文摘要氮化铝薄膜由于具有化学稳定性好、热传导率高、机械强度高、电绝缘性能佳以及高能隙、低热膨胀系数和光学特性优良等特点,可以用做声表面波器件和大功率紫外光学器件的散热材料。本...
脉冲偏压电弧离子镀沉积TiO2与AlN介电薄膜
论文摘要介电薄膜是应用最广泛的一类功能薄膜，在机械、电子、信息、航天等领域起着越来越重要的作用。但由于其导电性能不好，给它们的沉积制备带来了难度。比如采用最为常用的PVD技术之...
高温压力传感器的研制与计算机模拟
论文摘要高温压力传感器因其特殊的应用环境而日益受到人们的重视。在石油，化工，冶金，航空航天等领域，对高温环境下的压力测试是必要的。多晶硅高温压力传感器和SOI高温压力传感器是目...