氮化钛薄膜论文

论文摘要本文阐述了用反应磁控溅射方法制备氮化钛及其复合薄膜（镀层）的发展历史;综述了氮化钛薄膜的结构、性能和应用;分析了（Ti,Al）N复合薄膜相对于氮化钛薄膜的优势,并指出了...