氮化涂层论文

论文摘要N2及N2-Ar空心阴极放电中产生的氮活性粒子（N+、N2+、N）,可用于氮化物薄膜制备、金属表面氮化等。金属表面氮化涂层技术一般希望得到径向流密度较高的氮活性粒子。在...