单晶硅片论文
![基于图像处理的太阳能单晶硅片表面质量检测]()
基于图像处理的太阳能单晶硅片表面质量检测
论文摘要太阳能以其清洁、储量大、无污染等优点受到世界各国的普遍关注和越来越广泛的应用。然而,随着太阳能技术的发展,对太阳能单晶硅片质量控制的要求不断提高。质量控制在太阳能单晶硅...![微电子制造用固结磨料抛光垫的制备探索研究]()
微电子制造用固结磨料抛光垫的制备探索研究
论文摘要集成电路（IC）所用材料主要有硅、锗和砷化镓等,但目前单晶硅的使用占据全球IC生产的90%以上。硅材料是典型的脆性难加工材料,随着IC技术向着大尺寸、细刻线宽度方向发展...![冰冻固结磨料化学机械抛光单晶硅片的基础研究]()
冰冻固结磨料化学机械抛光单晶硅片的基础研究
论文摘要随着超大规模集成电路（ULSI）的发展,芯片的集成度越来越高,因此,对于其基底材料硅片的加工要求也越来越高,不仅要求获得纳米级面型精度和亚纳米级表面粗糙度,而且还要保证...![采用冰冻磨具的硅片塑性模态加工机理及工艺研究]()
采用冰冻磨具的硅片塑性模态加工机理及工艺研究
论文摘要集成电路（IC）所用材料主要有硅、锗和砷化镓等,但目前单晶硅的使用占据全球IC生产的90%以上。硅材料是典型的脆性难加工材料,随着IC技术向着大尺寸化方向发展,对高表面...![席智强：醋酸锌对氧化铈形貌及抛光性能的影响论文]()
席智强：醋酸锌对氧化铈形貌及抛光性能的影响论文
本文主要研究内容作者席智强,陈勇（2019）在《醋酸锌对氧化铈形貌及抛光性能的影响》一文中研究指出：采用简易的水热合成方法,以柠檬酸钠、醋酸锌和硝酸铈为原料制备了氧化铈纳米杆。...
