单晶炉论文

单晶炉结构有限元分析及优化设计
论文摘要单晶炉是直拉法制备单晶硅的关键技术装备,其质量和稳定性对拉晶质量起着决定作用,设计开发时不但要了解单晶生长工艺要求,还要熟悉机械、电子、真空和热力等方面的专业技术。本文...
单晶炉自动控制系统的设计
论文摘要在单晶硅生产过程中,硅片的直径大小和晶体生长过程的自动化程度,对生产效率和产品质量有很大的影响。为此,本课题以TDR-120型单晶炉的开发背景,解决了晶体生长过程中直径...
单晶炉横向磁场设计与优化
论文摘要半导体产业和光伏产业的快速发展促使硅单晶材料的科学研究向着高纯度、高完整性、高均匀性和大直径的方向发展,在直拉法生产硅单晶过程中引入磁场可以有效抑制熔体对流,获得杂质分...
宋晓佳：微下拉法晶体生长炉自动控制系统的研究论文
本文主要研究内容作者宋晓佳,何晔,屈菁菁,丁雨憧,付昌禄,陈川贵（2019）在《微下拉法晶体生长炉自动控制系统的研究》一文中研究指出：该文研究了微下拉法晶体生长炉晶体生长的稳定...