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高频软开关复合脉冲电源的研制
论文摘要本文针对目前等离子表面处理工艺下脉冲电源效率和频率较低,频率和占空比可调范围窄的情况,对高频大功率情况下频率和占空比可宽范围内调节的单极性直流脉冲和对称双极性脉冲可选的...