氮气流量论文
徐斌:油浆高温快速裂解过程的气固相产物研究论文
本文主要研究内容作者徐斌,高瑞,代正华,刘海峰,王辅臣(2019)在《油浆高温快速裂解过程的气固相产物研究》一文中研究指出:采用高频炉快速热解装置研究油浆的高温快速热解特性,考...李婷婷:氮气流量对非晶SiNx到含有Si3N4晶粒的富硅-SiNx薄膜转变的影响论文
本文主要研究内容作者李婷婷,周炳卿,闫泽飞(2019)在《氮气流量对非晶SiNx到含有Si3N4晶粒的富硅-SiNx薄膜转变的影响》一文中研究指出:基于等离子体增强化学气相沉积...