单探针论文

射频辉光放电SiCl4/H2等离子体的探针诊断
论文摘要等离了体技术在微电子工业和半导体薄膜材料生长等方面有着广泛的应用。用等离子体化学气相沉积（PCVD）技术制备的薄膜质量好,而且工艺成熟,适合大规模工业化生产,因而成为工...