单芯片双惯性论文

单芯片集成双惯性器件研究
论文摘要本论文直接对小型/微型/纳米卫星的导航关键部件——惯性器件加以研究,从对两类惯性参数的单片集成检测进行综合设计开始,结合存储测试技术的微型化研究,计划最终实现微型单芯片...