氮氧复合体论文

氮离子注入单晶硅的性能研究
论文摘要氮杂质对单晶硅的性能有重要影响,氮在硅中的性质,相关缺陷的作用机理,以及对硅电学性能的影响一直为人们所研究。本文通过氮离子注入的方法在单晶硅中掺入杂质,经常规退火和快速...