氮氧硅栅介质论文

氮氧硅栅介质的可靠性特性分析
论文摘要在现代CMOS技术中,纳米尺度pMOS器件的NBTI、SILC问题已经成为工业生产中影响电路性能的一个重要问题。当CMOS工艺技术进入到超深亚微米技术代以后,氮氧硅（S...