氮氧化硅论文

高k电介质薄膜制备研究与集成薄膜电容探讨
论文摘要随着无线通信的飞速发展,电子器件越来越朝着微型化、薄膜化、集成化的方向发展,作为电路基本元件的电容也因此受到科技界的广泛关注。本文主要对薄膜电容进行研究,研究工作从两个...