氮杂质论文

高温快速热处理对直拉硅单晶中杂质行为的影响
论文摘要快速热处理（RTP）作为一种敏捷制造手段,近十年来在直拉硅片内吸杂工艺中得到很好的应用,其根本原因在于高温RTP引入的空位能增强直拉硅片的氧沉淀且空位浓度的深度分布可以...
氮杂质对人造金刚石性质的影响
论文摘要本文研究了在人工合成金刚石过程中通过不同途径增加金刚石晶体中氮的含量,以改变金刚石强度的情况。为了研究氮杂质对金刚石性质的影响、合成出强度较高的金刚石,我们采用触媒渗氮...