导电阻挡层论文

用于硅基铁电电容器集成的Ni-Ti、Ni-Al阻挡层研究
论文摘要采用磁控溅射法（magnetronsputtering）,室温下在Si（001）基片上制备了可用于铁电存储器集成的导电阻挡层Ni-Ti、Ni-Al以及电极La0.5Sr...