大气等离子体抛光系统论文

大气等离子体抛光系统设计及实验研究
论文摘要随着现代光学及微电子学的发展,对表面质量的要求越来越苛刻,超光滑表面的加工也日趋受到各相关领域的关注。作为光学元件,为获得高反射率特别强调表面的低散射率或极低粗糙度值;...