大气压辉光放电液相沉积论文

纺织材料表面改性大气压辉光放电液相沉积关键技术的研究
论文摘要随着社会进步和科学技术的发展,气体放电等离子体技术在材料、微电子、化工、机械及环境保护等众多学科领域中发挥着越来越重要的作用。但是,由于真空状态下的气体等离子体放电,存...