大型靶材论文

大型靶材表面检测系统研究
论文摘要随着材料表面技术的飞速发展，各种镀膜靶材的需求量不断增长，某些高端领域所需的高质量薄膜又对靶材的技术指标提出了更高的要求，靶材表面不平度就是其中的一项重要指标，因此建立...