渗镀论文

论文摘要TiN类薄膜具有高强度、高硬度、化学稳定性好、耐磨及防腐蚀等一系列优点,其涂层被广泛作用于机械工业中的刀具、模具等表面,是具有巨大应用前景的薄膜材料。针对现有制备工艺中...