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脉冲激光沉积法制备硅基LiNbO3薄膜及其性能研究
论文题目:脉冲激光沉积法制备硅基LiNbO3薄膜及其性能研究论文类型:博士论文论文专业:材料物理与化学作者:王新昌导师:叶志镇关键词:薄膜,硅基,轴取向,脉冲激光沉积,光波导,...