等离子清洗论文

集成电路模块在线清洗系统的研究和设计
论文摘要集成电路作为电子产品中的核心部件，其质量的好坏直接决定了到电子整机产品的性能和可靠性的高低。在集成电路元件的生产过程中，微电子IC封装流程中高洁净清洗设备在保证产品的可...
铝合金基体类石墨镀层的制备及性能研究
论文摘要本文采用非平衡磁控溅射离子镀技术在铝合金表面制备了具有减摩自润滑性能的类石墨镀层（Graphite-LikeCarbon简称GLC）。通过改变等离子清洗工艺参数、沉积负...