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高k栅介质层MOS电容式硅基电光调制器的研究与设计
论文摘要硅材料在地球上分布广泛,成本低廉,对光通讯波段的光吸收小,同时它作为微电子领域的传统材料,具有加工工艺成熟,易于集成等诸多优点,是制作低成本的光电子集成器件的首选材料。...
高速硅基Mach-Zehnder调制器设计与模拟
论文摘要硅材料作为微电子领域的传统材料,在加工工艺和制作成本上有着其他材料无可比拟的优势。现在许多传统的基于Ⅲ-Ⅴ族材料的电光调制器利用直接电光效应实现了40GHz高速电光调制...