等离子体负载论文

应用于极紫外光刻光源的脉冲电源研究
论文摘要极紫外光刻技术被认为是下一代最有前途的光刻技术之一。在其关键的EUV光源方面,DPPEUV光源由于其多方面的优点受到国际上的广泛关注。高功率脉冲电源是DPPEUV光源的...
电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究
论文题目:电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究论文类型:博士论文论文专业:机械制造及其自动化作者:戚栋导师:郭东明,王宁会关键词:电弧离子镀,等离子体负载,脉冲偏压电...