等离子体负载特性论文

脉冲偏压电弧离子镀的工艺基础研究
论文摘要电弧离子镀（ArcIonPlating,AIP）是三大PVD薄膜制备技术（电弧离子镀、磁控溅射及蒸发镀）之首,在工业生产中应用最为广泛,是TiN类硬质薄膜合成的不可替代...