等离子体辅助原子层沉积论文

本文主要研究内容作者张子欣（2019）在《等离子体辅助原子层沉积氧化铝包覆LED荧光粉的研究》一文中研究指出：随着白光发光二极管（LED）被大范围普及应用,白光LED用荧光粉的...