等离子体红外光源论文

MEMS金属/电介质光子晶体的强透射特性研究
论文摘要MEMS红外气敏传感器因其利用气体的特征光谱进行测量而具有优越的选择性、灵敏度和稳定性。其中,其关键部件MEMS红外光源的研究近年来备受人们的关注。随着纳米等离子体晶体...