等离子体化学汽相沉积法论文

硅基SiO2薄膜材料的制备与物理特性研究
论文摘要本文在综述硅基SiO2薄膜研究进展、表征方法、研究方法的基础上,着重研究用热氧化法和等离子体化学汽相沉积法（PECVD）制备硅基SiO2薄膜的工艺,发展了薄膜制备技术,...