论文摘要能源、材料和信息是新技术革命的先导,是现代文明的三大支柱。半导体材料是支撑现代信息社会的基石,也是新型能源开发和利用的重要基础。人们对半导体材料的研究和利用是从锗(Ge...
论文摘要等离子体浸没离子注入克服了视线限制,具有注入效率高、对三维物体处理能力强、与等离子体工艺兼容的特点,在金属材料、化工材料的表面处理和微电子材料的制备等方面有着广阔的应用...
论文摘要本文采用非平衡磁控溅射沉积技术制备了具有金红石与锐钛矿混合结构的钛氧(Ti-O)薄膜,对其进行等离子体浸没H+注入,并在此基础上,对Ti-O薄膜进行表面生物化改性。通过...
论文摘要目的牙种植体作为植入体内的医用装置,已成为修复牙列缺损和牙列缺失的主要治疗手段之一。种植材料的表面性状和形态可影响种植后的生存质量,决定组织细胞在其表面的粘附、增殖和分...
论文摘要为了提高管筒状零部件的性能和使用寿命,人们常采用表面改性技术。离子注入做为一种有效的表面改性手段一直受到人们的重视,但对于细管筒内表面的处理均匀性无能为力。本文以管筒内...
论文摘要低温等离子体技术已经在微电子、材料、化工、机械及环保等许多科学领域里得到了广泛地应用。随着人们对低温等离子体发生的物理过程,以及对等离子体与材料表面相互作用机理等各方面...