等离子体浸没式离子注入论文

等离子体浸没式离子注入和等离子体磁性质的研究
论文摘要整篇论文包括两个部分,第一部分主要是介绍等离子体浸没式离子注入的研究,第二部分主要是负折射的物理原理与等离子体性质的联系。第一部分,等离子体浸没式离子注入（PIII）起...
新结构SOI材料与器件物理研究
论文题目:新结构SOI材料与器件物理研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:朱鸣导师:林成鲁,朱剑豪关键词:绝缘体上的硅,自加热效应,浮体效应,等离子体浸没式...