等离子体浸没注入论文

论文题目:等离子体浸没注入对Ta薄膜的改性及Cu/Ta-X/SiO2体系失效机理研究论文类型:博士论文论文专业:材料物理与化学作者:江素华导师:宗祥福关键词:互连,扩散阻挡层,...