等离子体鞘层论文

等离子体浸没离子注入系统研制及其相关物理研究
论文摘要等离子体浸没离子注入克服了视线限制,具有注入效率高、对三维物体处理能力强、与等离子体工艺兼容的特点,在金属材料、化工材料的表面处理和微电子材料的制备等方面有着广阔的应用...
尘埃粒子在双频CCP鞘层中的特性研究
论文摘要近几年来,在等离子体刻蚀工艺中,对放有基片的极板上同时施加高频和低频两个射频偏压的双频容性耦合式放电的刻蚀工艺越来越受到关注。与单频容性耦合放电相比,双频容性耦合放电等...
PIC-MCC法模拟圆柱形朗缪尔探针鞘层区等离子体
论文摘要对于低压、稳定等离子体的诊断,应用最多的仍然是探针法,其中以朗缪尔探针最为人们所熟悉。朗缪尔探针作为20世纪20年代出现的一种等离子体诊断方法及工具,具有设备简单,使用...