等离子体源离子注入论文

论文摘要等离子体源离子注入（PSII）作为一种重要的材料表面加工改性技术,主要被应用于金属及半导体材料表面改性领域。由于特有的优势（例如成本低、操作简单、高效率、可以处理复杂形...

论文题目:等离子体源离子注入及辉光放电过程中脉冲鞘层动力学研究论文类型:博士论文论文专业:等离子体物理作者:刘成森导师:王德真关键词:等离子体源离子注入,流体动力学模型,模拟,...