等离子体增强气相化学沉积论文

论文摘要当前,非晶硅薄膜太阳能电池以其成本低,工艺简单,能量回收时间短等优点得到了广泛关注。根据衬底状况和各层沉积顺序的不同,非晶硅薄膜太阳电池可分为p-i-n和n-i-p两种...