等离子增强磁控溅射论文

等离子增强磁控溅射沉积新型纳米复合涂层
论文摘要纳米复合涂层在工业生产中的应用很多，如汽车零部件，刀具，模具，各种发动机、涡轮机叶片，光学玻璃，耐高温，耐腐蚀和耐疲劳等领域。本文采用等离子增强磁控溅射(PEMS)技术...