等离子增强化学气相沉积论文

太阳能电池的发展与分析
论文摘要太阳能是各种可再生能源中最重要的基本能源,生物质能、风能、海洋能、水能等都来自太阳能,广义地说,太阳能包含以上各种可再生能源。太阳能作为可再生能源的一种,则是指太阳能的...
掺磷纳晶硅薄膜的制备及相关特性研究
论文摘要等离子体增强化学气相沉积方法（PECVD）是制备薄膜材料的几种方法中技术最为成熟、操作较为简单的一种，并且可以制备均匀性高的大面积薄膜。但是采用PECVD方法沉积优质多...
氢化纳米硅（na-Si：H）薄膜太阳电池研究
论文题目:氢化纳米硅（na-Si：H）薄膜太阳电池研究论文类型:博士论文论文专业:光学工程作者:于化丛导师:崔容强关键词:渐变光学带隙,氢化纳米硅薄膜,等离子增强化学气相沉积,...