灯丝放电等离子体论文

论文摘要灯丝放电等离子体源具有设备结构简单、可在低气压上产生高密度的等离子体等优点,在真空等离子体工艺中有着广泛的应用。然而等离子体分布的不均匀性一直是制约灯丝放电等离子体继续...