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锆钛酸铅铁电薄膜的织构与残余应力研究
论文摘要本文采用溶胶凝胶方法制备了(100)织构的锆钛酸铅(Pb(Zr0.52Ti0.48)O3,PZT)薄膜。利用广角X射线衍射技术研究了PZT薄膜的相结构;利用X射线ω扫描...