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非致冷红外探测器后端工艺技术研究
论文摘要非致冷红外探测器在军民两用市场都具有广泛的应用前景,近年来得到了大力的发展。作为典型的MEMS器件,红外探测器与其它MEMS器件一样,后端工艺是保证器件可靠运行的保障。...
石墨粉电镀法镀覆铜、锌、银工艺研究
论文摘要石墨/铜(锌、银)复合材料结合了铜(锌、银)优良的导电性、导热性、延展性和石墨的自润滑性、耐高温和耐腐蚀等优异性能,其应用范围越来越广,是当前相关复合材料领域研究的热点...