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MEMS平面磁芯螺旋微电感的制造技术研究
论文摘要便携式产品的小型化促使其中的电源管理芯片如DC/DC变换器向着微型化方向发展,同时为了提高电路性能如降低电感电流纹波、提高最大负载电流,提高整个系统转换效率等等使得在不...
RF MEMS微电感和微电容的制造技术及其特性研究
论文摘要随着无线通信系统向小型化、低电压、低功耗、多功能、高性能和更高频方向发展,现有的半导体工艺无法满足射频通信部件的高性能和小型化,导致现有的无线通信系统体积庞大、成本高、...