电感耦合反应离子刻蚀论文

论文摘要光纤通信的基础是光电子技术，其大量的光-电-光转换在一方面利用了成熟而廉价的集成电路技术，另一方面却也受到电子瓶颈的影响而限制了其通信容量的最大化。与微电子技术的发展一...

论文题目:SOI光波导器件及其增透膜的研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:王永进导师:邹世昌,张峰关键词:脊形波导,增透膜,电感耦合反应离子刻蚀,散射损耗...