电共沉积法论文

电共沉积法制备GaAs薄膜材料研究
论文摘要作为第二代半导体材料的典型代表,砷化镓（GaAs）材料较硅（Si）具有更好的半导体特性和光电特性,在多种高速器件和光电器件中有着广泛的应用。但是,传统的GaAs薄膜制备...