电荷调制器论文

采用MEMS技术研制聚酰亚胺湿度传感器
论文摘要本文给出了一种新型的湿度传感器,它利用MEMS技术和标准的CMOS工艺技术制造。研制的新型湿度传感器有着成本低、精度高、可靠性好等特点。湿度传感器广泛地应用于测量和控制...