电荷放大论文

容栅高度仪的研究与设计
论文摘要容栅传感器是上世纪70—80年代研制出来的新型高精度大位移测量传感器,与其它栅式传感器相比,容栅传感器具有结构简单、体积小、耗能少、抗干扰能力强、环境适应性强、测试精度...