电化学湿印章技术论文

用于半导体和金属表面三维微/纳结构制备的新型电化学加工方法及其应用
论文摘要工艺简单、用途广泛、能批量加工复杂三维微/纳结构的加工技术一直是微/纳加工领域的研究热点。近来,利用电化学手段进行三维微/纳米尺度的刻蚀加工己成为该领域中一个发展迅速的...