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面向精密主动减振的洛仑兹电机及其驱动器研究
论文摘要洛仑兹电机是一种以洛仑兹力直接驱动的永磁直流作动器,具有结构简单、动态响应快、线性性好等特点,被广泛地用作精密直线运动的驱动装置,如光刻机微运动工作台的驱动电机、精密主...