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电馈通论文
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张晓峰:基于参数激励法的MEMS陀螺电馈通抑制方法论文
本文主要研究内容作者张晓峰,赵鹤鸣,钱磊,徐大诚(2019)在《基于参数激励法的MEMS陀螺电馈通抑制方法》一文中研究指出:针对微机电系统(MEMS)陀螺驱动电极和感应电极之间...