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AFM动态电场诱导氧化加工及其电流检测
论文摘要纳米加工技术是构建新一代纳米电子器件的重要基础技术。而基于扫描探针显微镜(SPM)的纳米加工技术是迄今为止最为简单的一种纳米加工技术。其中,利用原子力显微镜(AFM)的...