电离阻抗论文

柱形表面波等离子体基本参数诊断研究
论文摘要表面波等离子体源是受广泛关注研究的新一代等离子体源。而射频激励产生的高密度柱形表面波等离子体可与电磁波相互作用,可以类似鞭状金属天线接收、发射电磁波,进行无线通信,是等...