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王帅民:梳状电容式微加速度计温度性能优化论文
本文主要研究内容作者王帅民,孙国良,牛昊斌,李博洋,余才佳(2019)在《梳状电容式微加速度计温度性能优化》一文中研究指出:零偏温度漂移是影响高精度MEMS加速度计整体性能的关...