电容比论文

射频微机电开关及移相器的研究和优化
论文摘要微机械电子系统(MEMS)的研究深受关注。射频MEMS器件由于其尺寸小、重量轻、低损耗等优点而倍受重视,并且已经进入小批量商业生产阶段。本文介绍了MEMS技术的基本知识...